?????? ???????
?????? ??????? ?? ?????????? ?????? ?????? ????? ?? ????????? ?????? ???????? ?????? ???? ???
?????? ?????? ?????? ??????? ?????????? ??????? ?????? ????????? ????? ?? ????????? ????????? ?????? ???????? ?????? ???? ??, ?? ???? ??????? ???????? ?? ?????? ???????? ?? ??? ???? ??: SiC MOSFET ???? ?? RF MEMS ?????, ????